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Products

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Dry Cleaner

AP Plasma Cleaner
UV Cleaner
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UV Cleaner

UV CLEANER

LCD, PDP, OLED 등 FPD 용 Sheet Glass의 표면 세정 절차에 대한 장비로서 AP는 높은 세정력과 고효율성을 가지며, 기존의 Streamer를 차단하는 Sheet Glass의 손상과 대기압 플라즈마, 고밀도 및 높은 균일 성 문제인 아크 발생 없이 표면 세정 절차가 가능하며 운영비 절감 효과가 있다. 또한, AP는 슬림형으로 제작되어 넓은 공간이 필요하지 않으며 길이 제한없이 1 세대부터 8 세대까지 폭 넓은 공정에 적용 가능하다.

Features – Customer Operation & Cost Reduction

유전체 장벽의 방전 엑시머 램프를 사용하고 중앙에 172nm의 단파장 빛을 효율적으로 사용하고 단파장도 근접라인 스펙트럼에 조사
운영비를 절감하고 안전성을 확보하기 위해 조명 및 점멸 치료에 램프 조사가 가능
안전한 제어를 위해 각종 연동 장치 부착
최소 U/T는 airflow 관리에 사용
상세 사양은 고객과 협의 의해 변경 및 수정 가능

Specification – Detail specification go into conference with customer and it can be changed and modified by the conference.

Description Detail Items
E-UV Spec
Inline Scan type, High Power Lamp
Lamp Quantity : Selected by Irradiation Amount, Irradiation Wavelength : 172nm
Lamp Lifetime : 2000hr
Lamp Power : Selected by Irradiation Amount
Updown Driving Part
: Spec Options
House Up/Down System : Air cylinder
Gap Control System : Serve motor (1.5~10mn)
Gap Control Precision : ±0.2mm
Utility
Evacuation 100A (Manual damper ? Install Differential Pressure Gauge)
N2/CDA/PCW
Return Part Magnetic Gear Drive
2-System Engineering

Dry Cleaner02