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Products

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Dry Cleaner

AP Plasma Cleaner
UV Cleaner
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AP Plasma Cleaner

AP PLASMA CLEANER

LCD, PDP, OLED 등 FPD 용 Sheet Glass의 표면 세정 절차에 대한 장비로서 AP는 높은 세정력과 고효율성을 가지며, 기존의 Streamer를 차단하는 Sheet Glass의 손상과 대기압 플라즈마, 고밀도 및 높은 균일 성 문제인 아크 발생 없이 표면 세정 절차가 가능하며 운영비 절감 효과가 있다. 또한, AP는 슬림형으로 제작되어 넓은 공간이 필요하지 않으며 길이 제한없이 1 세대부터 8 세대까지 폭 넓은 공정에 적용 가능하다.

Features – Customer Operation & Cost Reduction

EUV 또는 오존 클리너 교체
실용적인 커스터마이징
낮은 장비 비용 / 운영 비용 절감
손쉬운 확장 / 실현 가능한 전극 배열
환경 친화적인 건식 공정
탁월한 세정 효과 (진행 시간 단축)

Comparison AP Plasma & UV/EUV

UV/EUV AP Plasma
Cleaning efficiency Medium Excellent
Safety (Pattem Damage) Good Good
Efficiency of Space(Expansion) Medium Good
Environment Friendly Medium Good
Initial Cost High Reasonable
Maintenance Bad(Lamp Change) Excellent
Running Cost High Low

Atmospheric Pressure Plasma

Plasma Density : 109 ~ 1012 𝑐𝑚−3 (Electrons, lons)
Power Generator : MF, RF (Based on DBD), Microwave
Reaction Mechanism : Chemical Reaction
Radical Density : 10−13 ~ 1015 𝑐𝑚3 (Z. Falkenstein, Los Alamos) (Gas Density : ~2.7 x −1019 𝑐𝑚-3 at 760 Torr)
Operating Pressure : ~760 Torr
Process Temperature : Appx. 30°C ~ Hundreds°C
2-System Engineering

DRY CLEANER